Модель;iMS-2010;iMS-2015;iMS-3020;iMS-4030;iMS-5040
Диапазон измерений по осям X/Y;200x100 мм; 250x150 мм; 300x200 мм; 400x300 мм; 500x400 мм
Диапазон измерений по оси Z; 200 мм
Разрешение шкал X/Y/Z; 0,5 мкм
Погрешность измерений X/Y не более; (3+L/200) мкм
Погрешность измерений Z не более; (4,5+L/150) мкм
Повторяемость; 2 мкм
Программно-управляемое освещение; Верхнее: Регулируемое 4-кольца 8-секторов светодиодное кольцевое освещение; Нижнее: Светодиодное параллельное освещение; Опционально: Верхнее коаксиальное освещение; Лазерный позиционер
Камера;Цветная CCD камера высокого разрешения 700TVL
Оптика;6.5X объектив с высокой разрешающей способностью; Оптическое увеличение: 0.7X~4.5X; Увеличение на экране: 26X~344X (опционально 13X~1260X)
Нормальные условия;Температура: 20°C±2°C изменение температуры: <2°C/ч Влажность: 30%-80%; Вибрация <0.002г; <15Гц
Рабочие условия;15° - 30°C
Грузоподъемность рабочего стола;20 кг